중국 반도체 장비 독립 가속, 고에너지 이온 주입기 돌파

더지엠뉴스 송종환 기자 | 중국이 반도체 제조 핵심 장비로 꼽히는 고에너지 이온 주입기 분야에서 기술적 분기점을 통과했다. 해외 의존도가 절대적이던 장비를 자체 기술로 구현하면서 전력 반도체와 첨단 제조 전반에 걸친 자립 기반이 한 단계 끌어올려졌다는 평가가 나온다. 19일 중국 관영 매체 글로벌타임스에 따르면, 중국원자에너지연구원이 독자 개발한 텐덤 고에너지 수소 이온 주입기 파워-750H가 최근 빔 추출에 성공했으며, 주요 성능 지표는 국제적 수준에 도달했다. 성과는 텐덤 고에너지 수소 이온 주입기 기술의 연구·설계·제작·통합에 이르는 전 과정을 중국이 자체적으로 구현했음을 의미한다. 그동안 전력 반도체 제조 공정에서 병목으로 지적돼 온 핵심 장비 영역을 넘어서며, 고급 제조 장비의 독립적·통제 가능한 발전 경로를 확보하는 계기가 됐다. 이온 주입기는 노광 장비, 식각 장비, 박막 증착 장비와 함께 반도체 제조 공정의 4대 핵심 장비로 분류된다. 웨이퍼에 특정 이온을 정밀하게 주입해 전기적 특성을 형성하는 공정 특성상, 장비의 안정성과 정밀도는 반도체 성능과 직결된다. 고에너지 수소 이온 주입기의 국산화는 원자력 가속기 기술과 반도체 산업의 결합이라는 점

• 송종환 기자
• 2026-01-19 05:42