더지엠뉴스 송종환 기자 | 중국이 반도체 제조 핵심 장비로 꼽히는 고에너지 이온 주입기 분야에서 기술적 분기점을 통과했다. 해외 의존도가 절대적이던 장비를 자체 기술로 구현하면서 전력 반도체와 첨단 제조 전반에 걸친 자립 기반이 한 단계 끌어올려졌다는 평가가 나온다.

19일 중국 관영 매체 글로벌타임스에 따르면, 중국원자에너지연구원이 독자 개발한 텐덤 고에너지 수소 이온 주입기 파워-750H가 최근 빔 추출에 성공했으며, 주요 성능 지표는 국제적 수준에 도달했다.

성과는 텐덤 고에너지 수소 이온 주입기 기술의 연구·설계·제작·통합에 이르는 전 과정을 중국이 자체적으로 구현했음을 의미한다. 그동안 전력 반도체 제조 공정에서 병목으로 지적돼 온 핵심 장비 영역을 넘어서며, 고급 제조 장비의 독립적·통제 가능한 발전 경로를 확보하는 계기가 됐다.

이온 주입기는 노광 장비, 식각 장비, 박막 증착 장비와 함께 반도체 제조 공정의 4대 핵심 장비로 분류된다. 웨이퍼에 특정 이온을 정밀하게 주입해 전기적 특성을 형성하는 공정 특성상, 장비의 안정성과 정밀도는 반도체 성능과 직결된다. 고에너지 수소 이온 주입기의 국산화는 원자력 가속기 기술과 반도체 산업의 결합이라는 점에서도 상징성이 크다.

중국은 장기간 해당 장비를 전량 수입에 의존해 왔으며, 높은 기술 장벽과 복잡한 시스템 통합 난이도로 인해 전략 산업 고도화의 제약 요인으로 작용해 왔다. 연구원은 수십 년간 축적해 온 핵물리 가속기 연구 경험을 토대로 텐덤 가속기 기술을 핵심 경로로 설정해 주요 기술 난제를 단계적으로 해소했다. 이 과정에서 기본 원리 설계부터 전체 시스템 통합에 이르기까지 전방위 설계 역량을 확보했다.

이번 개발은 전력 반도체 자립도를 높이는 동시에 탄소 피크·탄소 중립 목표와 연계된 에너지 전환, 신형 생산력 육성에도 기술적 기반을 제공하는 사례로 언급되고 있다. 해외 기술 봉쇄와 독점 구조를 돌파한 상징적 사례로서, 중국 반도체 장비 산업의 축적형 발전 경로를 보여주는 장면으로 기록되고 있다.